如何快速提高中国半导体产业的制造能力？

半导体设备制造业是为中国集成电路和半导体器件产业提供技术装备的战略性产业。它是提升中国半导体产业制造能力的高端装备制造业，也是国家支持的重大技术装备产业。中国电子特种设备行业协会常务副秘书长金存忠表示，目前中国光伏设备和发光二极管设备已经基本实现国产化，集成电路设备目前更多依赖进口。如今，如何快速发展本地半导体设备已成为人们关注的焦点。

中国半导体设备行业继续快速增长

半导体设备主要包括集成电路设备、光伏设备、发光二极管设备和分立器件设备。近年来，中国半导体设备行业发展迅速，市场规模逐步扩大。据金存忠介绍，2019年中国半导体设备将继续快速增长。根据国内47家规模以上半导体设备制造商完成的主要经济指标统计(半导体设备年销售收入超过500万元)，2019年半导体设备销售收入将达到161.82亿元，同比增长30%。半导体设备出口交货值完成16.35亿元，同比增长2.6%。半导体设备制造商实现利润总额(包括所有产品)27.13亿元，同比增长26.7%。此外，从2016年到2019年，中国半导体设备制造商的销售收入每年增长41.3%，总利润每年增长23.5%，出口交货值每年增长27.8%。

此外，目前中国集成电路和光伏设备订单增长迅速，在2019年订单基本饱和的基础上，今年上半年仍将保持良好势头。同时，SEMI数据显示，2019年中国大陆半导体设备市场将达到134.5亿美元，占全球半导体设备市场的22.5%，居世界第二位。此外，2019年，整个半导体行业将萎缩，全球半导体设备销售额将下降7%，中国对半导体设备的需求仍将保持3%的增长。可以看出，中国半导体设备市场的规模是巨大的。

高端装备产业的发展面临三大问题。

同时，由于集成电路设备行业的高壁垒和壁垒，国内集成电路设备仍然面临着各种挑战。金存忠表示，中国集成电路设备行业目前面临三大问题。首先，国内集成电路设备的市场份额相对较低。2019年，中国集成电路设备在中国大陆的市场份额仅为10%左右。

其次，中国的关键集成电路晶片生产设备(如光刻机)仍需进口。2019年，国内用于14纳米工艺的集成电路晶片生产设备刚刚进入生产线生产，比2019年国际先进的5纳米生产线设备落后第二代多。此外，一些已经进入晶圆生产线的国内设备仍然落后于类似的国际设备。

最后，目前国内半导体设备关键部件的国产化进程缓慢，进口依存度高。集成电路晶片生产设备的关键部件进口占设备销售额的30% ~ 40%。例如，干泵、分子泵、机械手(清洁、真空)、高温加热装置(恒温器)、射频电源、真空阀等。

制造商在更好的市场环境下加快生产

然而，随着中国半导体产业制造能力的提高，在一些问题逐步得到解决的同时，也迎来了许多新的发展机遇。金存忠认为，2019年国内集成电路晶圆生产线设备的产业化将会快速发展。集成电路晶片生产线的主要核心工艺设备已达到14纳米批量生产水平，中国微电子设备(上海)有限公司开发的5纳米等离子刻蚀机也通过了生产线的验证。据估计国内的销售收入

其次，廉价互联网接入的出现给太阳能电池设备带来了许多新的发展机遇。2019年是太阳能发电平价上线的第一年。先进的PRCE晶体硅太阳能电池生产线设备受到市场的追捧，成为光伏企业扩大生产的首选。全自动、智能和大容量单晶硅生长和切片设备的销售也一直在快速增长。2019年，国内太阳能电池生产设备的销售收入将继续增长，同比增长40%。

最后，金存忠预测，尽管受疫情影响，半导体设备在2020年第一季度总体销售，但集成电路设备和太阳能电池制造设备的市场增长趋势并未改变。据估计，2020年中国主要半导体设备制造商的销售收入将达到200亿元左右，同比增长约20%。此外，金存忠认为，2020年国内集成电路设备行业将处于较好的市场环境，中国大陆本土集成电路厂将扩大生产，加快生产，2020年国内设备将进入快速发展时期。预计2020年集成电路生产设备将增长30%左右，销售收入将超过太阳能电池生产设备，达到90多亿元。