Xi安芦苇鄂温枪在防疫控制第一线发挥重要作用

最近，由新型冠状病毒感染引起的肺炎突然爆发席卷全球，影响到每个人的心脏。在此次全国应急行动中，除口罩等防疫用品外，耳温枪、额温枪等非接触式红外测温装置以其快速、直观、安全的特点，在防疫控制的前沿发挥了重要作用。

红外测温设备的核心是热电堆红外传感器。热电堆红外传感器是基于塞贝克效应机制。采用硅基工艺在底部硅中刻蚀深腔，并在顶部硅支撑层上布置几个热电偶。当传感器接收到红外辐射时，热电堆上几个热电偶的电压叠加输出，从而将采集到的温度转换成电压信号。温度测量设备的困难在于需要满足医学测量标准。其核心传感器具有高精度、高可靠性、高稳定性和高一致性的要求。

由于疫情的紧迫性，Xi安里德积极组建红外温度传感器项目组，加班讨论方案，协助合作单位完善设计方案，重点解决技术难题。公司采用经典的博世背腔刻蚀工艺，刻蚀与钝化交替进行，先后开发了深度为300m和400m的热电堆红外传感器背腔深硅刻蚀技术。其中，背腔蚀刻尺寸精度、侧壁垂直度、侧壁粗糙度等。是影响传感器最终精度的重要指标。精确的过程参数控制，如功率、气体流量、压力等。是必需的。蚀刻周期的控制需要精确到毫秒级，以确保芯片的散热性能。

自3月份以来，国外的疫情变得越来越严重。Xi安立得加大了相关产品的产能，突破了红外测温技术的瓶颈。核心技术完全自主可控，从根本上保证了产品质量和供应周期，有效地构筑了红外测温防疫的第一道防线。Xi安里德以“创造更美好的智能社会”为产业愿景，不断积累经验，重视创新，构建了相对完整的物联网(IOT)生态系统。以各种传感器为核心，形成了“设计过程开发过程验证批量生产”的系统解决方案。其业务涵盖民用传感器、航空航天和其他军事领域，承担了提供一流微器件制造解决方案的责任，并不断努力。